二手 EVG / EV GROUP 640 #293639247 待售

EVG/EV GROUP 640是一種自動化的掩模對齊器，設計用於半導體制造中的光掩模的高效陣列、對準和曝光。EVG 640能夠同時處理石英和石英上鉻的光掩模,在各種工藝中靈活地為任何大小或形狀的掩模設計圖案。EV GROUP 640利用具有微米級精度的雙龍門機器人系統，使光掩模與晶片基板精確對齊。該設備能夠在一次曝光內調整各個掩模的角度和位置,從而提供更大的靈活性和強大的定位性能。其直線電機驅動的定位器，加上其全覆蓋的高分辨率編碼器，為光掩模對準提供了高精度和穩定性。640包含一個用戶友好的界面,具有多種易於訪問的功能,可確保高效的工作過程並最大程度地減少用戶錯誤。它具有直觀的控制器,具有層定義功能、差分掩碼放置精度和過程恢復功能。它還包括可編程的多級光束輪廓，可以無縫調整以保持最大劑量在臨界維度水平。EVG/EV GROUP 640配備了提供多種功能的高級軟件，如缺陷檢查、過程控制、數據收集和分析。軟件確定每個掩模的最佳曝光參數,如曝光範圍、曝光時間、照明角度和圖案放大倍數。它還可以方便地執行不同類型的操作，如底物補償、劑量延遲和多閘能力。總體而言,EVG 640是一款功能強大的高級掩模對齊器,旨在在一系列基板和工藝中對光掩模進行高精度對準和曝光。其先進的軟件和直觀的用戶界面提供了高效、高效的掩碼對齊和曝光過程所需的性能和易用性。