二手 EVG / EV GROUP 640 #293771584 待售
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ID: 293771584
晶圓大小: 4"-8"
Mask aligner, 4"-8"
BSA
Non functional robot module
Backside alignment
Joystick
Operating system: Windows 2000
UV LED Light intensity:
365 nm 45 mW / cm2
405 nm 55 mW / cm2.
EVG/EV GROUP 640是一種通用的掩模對準器,廣泛用於半導體工業中的光刻工藝。這種精密工具在半導體器件的生產中起著至關重要的作用,因為它能夠對矽晶片上的光刻膠進行精確的制圖。EVG 640專為處理各種尺寸達200毫米的基材而設計,使其成為研究和生產環境的熱門選擇。EV Group 640的一個關鍵特點是其高度自動化和精確度。設備配備了先進的對準和曝光能力,使用戶可以實現亞微米對準精度。這對於實現現代半導體制造工藝所需的緊密公差至關重要。640還提供了基材材料的多功能性,使用戶可以使用包括矽、玻璃和復合半導體在內的多種材料。遮罩對準器根據光刻原理工作,這包括將圖樣從光掩模轉移到塗有光刻膠的基板上。EVG/EV GROUP 640使用準直的UV光源來暴露光抗蝕劑,確保在基板上均勻且精確的圖案。該系統能夠處理近距離和接觸曝光模式,使用戶能夠靈活選擇最適合其特定應用的模式。EVG 640除了具有對齊和曝光功能外,還配備了提高生產力和易用性的功能。該單元帶有一個用戶友好的界面,可以方便地編程和控制對齊和曝光參數。它還包括用於自動調整和暴露過程的高級軟件功能,從而減少了手動幹預的需要,並提高了總體吞吐量。EV GROUP 640的關鍵優點之一是模塊化和靈活性。該機器可以輕松配置,以滿足不同應用程序的特定要求,使其成為廣泛研究和生產環境的通用工具。用戶可以從各種可選模塊和附件中進行選擇,以定制工具以滿足其獨特的需求。總體而言,640掩模對準器是半導體行業中用於高精度光刻工藝的強大工具。EVG/EV GROUP 640具有先進的對準和曝光能力,在處理各種基板材料方面具有多功能性,而且界面友好,對於希望在200 mm尺寸的基板上實現精確陣列的半導體制造商和研究人員來說,EVG/EV GROUP 640是一項寶貴的資產。它的自動化特性和模塊化使得它成為一種用途廣泛的工具,可以適應廣泛的應用,使其成為業界流行的選擇。
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