二手 EVG / EV GROUP 640 #293809531 待售

EVG/EV GROUP 640是一種掩模對齊器,它提供了在光刻過程中使用的掩模上精確放置和對齊模式的高精度和精確度。這種硬件由於體積小巧而需要極小的空間和資源，其多種配置使得它成為許多不同光刻操作的絕佳選擇。EVG設備基於光束平臺，具有一系列數字光學和精密掃描階段。該平臺由安裝在電動龍門上的光學物鏡、XY掃描級和Z軸級組成。每個階段都是獨立的，可以用來精確定位正在使用的掩模。該物鏡配有可調鏡面，可以調節，為各種圖案形狀創造最佳的成像光斑尺寸。EVG 640還有一個高精度的手動x-y對齊表，允許用戶手動調整蒙版上圖案的對齊方式以滿足特定要求。此外,x-y對齊表還配備了「無工具」產品功能,允許用戶在不使用任何工具的情況下調整和重新對齊蒙版。運行EV GROUP 640對齊器的軟件直觀易用。它有一個圖形用戶界面（GUI）和設置是容易調整和操作的各種應用程序。640是一個健壯的系統，可以產生亞微米的對準精度和可重復性。它還提供了手動加載或機器人加載單元的選擇。機器人加載程序允許用戶快速、輕松地執行多個對齊操作，使他們能夠以最短的設置時間快速高效地完成光刻任務。總體而言,EVG/EV GROUP 640是任何光刻應用程序的絕佳選擇,需要精確定位和對齊蒙版上的圖案。它具有緊湊的設計和較低的開銷,使其成為任何需要快速準確定位用於光刻的掩模的操作或業務的理想選擇。其直觀的用戶界面、機器人裝載機和無刀具功能確保了高效有效的操作，使其成為幾乎所有光刻要求的理想選擇。