二手 EVG / EV GROUP 640 #9200554 待售
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單擊可縮放
ID: 9200554
Double side aligner
Model no: EV640R
Light box
Shutter
Fly eye
With mask version of frame, 7"
Substrate fixture, 6"
Computer
Manipulator
Lamp stand and other accessories
Mirror
Control cabinet
Robot controller
Mercury lamp power supply.
EVG/EV GROUP 640是一款全自動、多室掩模對準器。用於精密光學、微電子、半導體器件的制造。這種對齊器是一種用於陣列放置和叠加的精密工具，可實現最小的失真和精確的對齊精度。它能夠達到9微米的放置精度和10納米的覆蓋精度。這款先進的掩模對準器具有多種核心組件，包括直徑6英寸的投影鏡頭、25 nm分辨率的機器人X-Y-Z級以及三臺高分辨率數碼相機。該單元每次運行最多可處理三個口罩，並有兩種曝光模式，單發和多發，允許快速準確地曝光所有層。機器的柱頭傳遞特性允許通過主動補償層間偏移來優化對齊精度。它為一次和兩次曝光提供了六個區域的對齊方式。該單元還包括多種其他集成特性，包括靜電卡盤平面度和監控、使用零線移動特性的快速掩模交換、多種自動化晶圓和掩模處理能力以及低顆粒沈積。它還能夠暴露於多層雙面墊片對齊基板和每個作業多達四個對齊基準。EV GROUPEVG 640是一種強大而精確的模式放置和叠加工具。它提供了生產精密光學、電子和半導體器件的高效工藝。它具有堅固的特點，是滿足高精度微加工需求的可靠解決方案。
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