二手 EVG / EV GROUP EV 640 #9287507 待售

EVG/EV GROUP EV 640是一種晶圓步進和掩模對準設備，設計用於制造半導體和集成電路器件。該系統具有全自動和通用的掩模對準平臺,可實現快速高效的生產。該單元在具有較高集成和層數的設備的生產中特別有用。EVG EV 640機可用於多次對齊，覆蓋精確至1 µm。其圖案和感光材料支持各種基材的加工。例如，該工具的掃描分辨率為1 nm，平臺分辨率為0.1微米。該資產采用了多種先進技術，以確保最高質量和統一的結果。其中包括一個區域/線路傳感器，用於定位在薄至五微米的基板上，並用於對準大至十二英寸的基板，專有的無邊、多功能框架補償器的微技術，以及高速逐模識別模型，僅舉幾例。設備還包括電子放大適配器和光學測量系統，有助於在生產過程中達到均勻的均勻性。這些功能和更多功能有助於提高設備的高吞吐量,從而實現更快、更準確的流程。通過自動化控制，機器可以優化吞吐量，滿足特定的生產要求。該工具還包括一個提供全面服務的軟件包和硬件界面，可快速訪問生產數據，並允許用戶創建虛擬原型和接收生產過程的自動更新。自動化控制軟件簡化了對齊過程，使設置和監視作業變得容易。EV GROUP EV 640憑借先進的技術提高了精度和生產率。該資產具有高精度生產、縮短生產時間的能力，高效、適合於大批量生產。