二手 EVG / EV GROUP EV 640R #9175004 待售

EVG/EV GROUP EV 640R Mask Aligner是一種先進的工具,旨在為大量生產光子、電子和納米技術組件提供基板和mask圖樣之間的精確對準。EVG EV 640R適用於半導體、MEMS和NEMS生產、光學光刻、微流體制造和其他以納米技術為中心的工業過程。EV GROUP EV 640R Mask Aligner提供高達6.4 「x 6.4」基板的精確、高精度對準,並具有衍射限制的完美和長期穩定性。電動汽車640R利用兩個獨立的軌道電動機進行優化定位，並對基板和遮罩圖樣進行快速、精確的對準。這允許進行低成本的光刻處理,在這些處理中,可以在更少的時間和能耗的情況下實現最高分辨率的特征。EVG/EV GROUP EV 640R非常適合需要納米對準分辨率的工業應用。該系統采用自動聚焦光學傳感，在生產過程中提供70納米及以下的自動測距對準精度。EVG EV 640R除了可以精確對準掩模和基板外，還可以用於精確測量基板上各點之間的距離。EV Group EV 640R利用精確可靠的保護算法以及高精度的模式對齊識別。這樣可以確保基板和蒙版上的圖案始終是一致的。該系統還配備了一個專利索引和平整技術，用於在基板和面膜之間進行精確的平面化。除了對準精度外,電動汽車640R還具有多種提高生產率的選項。這包括自動夾緊晶片，精確覆蓋的高精度光束控制，以及對軟基板的平緩處理的優化真空控制。EVG/EV GROUP EV 640R提供快速的生產率和高可靠性。其龐大的工作區域、可擴展的設計和快速的掩模轉換都使EVG EV 640R生產過程中需要快速吞吐量和準確性的寶貴設備。該系統配備了大觸摸屏顯示屏和人性化界面，使得EV GROUP EV 640R那些希望提高生產效率的人的絕佳選擇。