二手 HITACHI Hitech #9359868 待售

HITACHI Hitech是為最苛刻的物理氣相沈積（PVD）和光刻工藝而設計的高性能掩模對齊器。Hitech擁有一整套功能,非常適合執行各種應用程序,從大規模的生產運行到精確的蝕刻和陣列操作。HITACHI Hitech將先進的掩模對準技術與高端光學元件和精確的微米控制運動級相結合，以可重復的精度提供一致的結果。該設備具有先進的X-Y級,可移動到0.1微米的增量,以實現精確和精確的掩模對齊。此外,Hitech還采用了一種連續的非真空索引技術,以高效且節省時間的方式進行多層對齊。HITACHI Hitech還通過掩埋通道技術提供了極佳的晶圓均勻性，有助於在每個晶圓表面保持一致的蝕刻速率。此外,系統還配備了有機共焦成像技術,該技術甚至可以檢測圖樣的最小細節,並掃描晶圓表面以獲得最高級別的校正。作為一項創新功能,Hitech能夠使用強大的電動電機單元和定制的軌道組件執行步進集成過程。這種布局讓用戶實現了卓越的工藝一致性和與眾不同的產品質量。此外，利用其內置的10倍測量能力，數據可以很容易地記錄和分析優化層沈積。作為一個多功能的軟件包,HITACHI Hitech包含一系列支持多個應用程序的組件。該機器為3 D透射率對齊操作提供了通用的示例階段,並提供了一系列專用的支持組件,以確保高性能。此外,該單元還標配了先進的視覺工具,為模式叠加對齊和樣本的精確識別提供了最高的準確度。總體而言,Hitech是一款先進的掩模對齊器,專為各種PVD和光刻工藝而設計。通過提供快速、準確和可重復的結果,HITACHI Hitech提供了卓越的性能,可實現最佳蝕刻和層沈積精度。憑借其全面的功能和組件,Hitech是許多業界領先制造商首選的掩碼對齊器。