二手 HTG 314-5 #114653 待售

HTG 314-5掩模對準器是一種自動化設備，用於確保用於生產復雜電子設備的掩模和標線精確對準。遮罩對準是光刻的一個基本組成部分，即通過光照將遮罩或標線圖樣轉移到基板上的過程。314-5是為最大生產力而設計的高精度、高精度的掩模對齊器。它具有由高扭矩步進電機驅動的雙獨立10英寸提升級和自動測序系統,可消除手動重復成像周期。它還具有真空卡盤和精密基礎真空系統，以確保平坦、穩定的成像表面。顯示器允許實時圖像查看和自動模式識別。HTG 314-5使用高度通用的6軸電動機械手，提供X-Y和Z軸，以及旋轉運動，以精確對準卡盤上的蒙版和標線。314-5包括一個先進的光學顯微鏡來測量很小部分底物的物理特性。顯微鏡也可用於選擇最佳對準點。HTG 314-5是用於預掩碼裝配的高效設備。它允許非常快速和精確的對準圖樣板或標線和基板與最小的用戶幹預。它還具有多種模式校正功能，以確保高對準精度。這允許快速原型設計和並行生產運行。它還具有批處理能力，可以被編程為按順序運行多個作業。314-5是日立高科技集團製造的高精度掩模對準器。該裝置設計用於光刻過程中，並提供可重復的高精度對準該過程中使用的蒙版和標線。它提供快速、準確的成像、多種校正功能的組合，並且可以編程為運行批處理過程。HTG 314-5提供了一個通用的掩模對齊器，以提高模式傳輸的速度和準確性。