二手 HTG 36-3 #69873 待售

HTG 36-3是為方便接觸光刻而設計的掩模對準設備。它是由曝光工具、開發工具和拋光與對齊工具（PAT）組成的三階段系統。「曝光工具」旨在將蒙版暴露在晶圓表面上。它的工作原理是用1-kW的Xe燈以36度的固定角度掃描掩模，其輸出聚焦到晶圓上的13微米點。然後開發工具使用高度選擇性的顯影劑在晶片上形成所需的模式。開發溶液的pH值是可調的，以達到所需的選擇性，並由流量高達每分鐘2毫升的Autosyringe單元輸送。該工具還具有進氣和排氣空調機，和一個熱板，以保持開發解決方案的溫度。拋光和對齊工具（PAT）用於細化和對齊由曝光工具和開發工具形成的圖案。它配有兩個光學頭，用於兩個對準系統。PAT具有一個可加熱的工作階段、一個受控厚度的基板表和一個用於圖像觀測的CCD相機。它還利用激光幹涉儀和數控控制器，精確定位面罩相對於基板。此外，PAT具有拋光功能，允許它去除不希望的顆粒或氧化層，以確保更平滑的圖樣。總而言之，36-3是一種可靠、高效的掩模對準工具，能夠在矽片上形成復雜的圖樣。它對各種需要精確對準電路模式的微電子器件制造商是有利的。