二手 HTG 84-3 #18003 待售

HTG 84-3是一種最先進的掩模對齊器，設計時考慮到了高效的光刻工藝。這臺自動化機器利用激光技術，將口罩精確對準和蝕刻到薄基板上。設備可以產生分辨率高達40 nm的圖樣。該機器配備了由步進級和光學單元組成的自動制圖系統。步進階段工作的位置和對齊面罩圖樣元素精確到基板上。光學機器用於讀取放置蒙版所需的坐標。此外，光學工具還用於聚焦圖樣制作過程中使用的激光束。84-3中使用的激光技術是以高達1.78 kW的功率水平工作的氮激光。這種激光器被設計成具有精密加工元件的高精度圖案。激光器的薄膜結構確保了圖樣對準和蝕刻過程中的可重復精度。用於工具設置和特征識別的軟件對掩碼對齊器進行了補充。該資產允許用戶編程工具設置、指定基板特性和註冊基板布局。模式識別功能允許模型識別和測量復雜的空間特征，從而優化對齊和蝕刻結果。HTG 84-3可以加工玻璃、石英、氧化鋁等薄膜基板。該機配備高壓冷卻設備，保證了加工各階段的精度，並在最終模式中提供熱穩定性。此外，該系統在激光切割過程中利用氮氣，從而最大限度地減少表面汙染，提高工藝速度，並允許高質量的結果在圖樣。總體而言,84-3掩模對齊器是一種強大的工具,可滿足當今光刻工藝的需要。憑借其通用的激光技術、最先進的模式識別功能和薄膜處理選項,這臺機器一定會將您的生產過程或研究工作提升到新的水平。