二手 HTG System 1 Model 84-3 #156406 待售

HTG Equipment 1 Model 84-3是一款高精度的掩模對準器，旨在將半導體掩模圖樣精確對準並暴露在模具芯片上。它能夠成像高達5英寸的晶片，具有5.5英寸的圖像場和100微米的分辨率。它配備了單軸電動X/Y級和多個對準傳感器,可確保模具芯片上的掩模圖樣精確且可重復對準。該系統包括一個固定的高強度紫外線源和一個相關的可調快門控制單元，可通過用戶友好的微米控制器操作。紫外線源允許曝光設備圖樣，快門控制機器允許精確控制圖樣曝光時間。自動加載程序允許自動加載和卸載晶片,而無需手動操作。該機器的光學器件采用石英投影透鏡，其結構旨在最大程度地減少像差和失真。可調虹膜允許在蒙面曝光過程中正確照射設備圖樣。此外，光學器件還包括兩個傳感器，一個是標線編碼器，另一個是芯片編碼器，這兩個傳感器能夠在晶片上精確和可重復地放置芯片和掩碼。該機配備了一系列環保功能。這些功能包括氮氣清除工具、多個濾波器風扇和晶圓對準控制資產,以確保晶圓和掩模對準始終保持。整體Model 1 Model 84-3是一種功能強大且可靠的設備，用於將半導體器件圖樣精確地暴露在模具芯片上。其用戶友好和直觀的用戶界面結合了多種功能,提供了高性能的掩碼對齊器。