二手 HTG UV 3000A #9115291 待售

HTG UV 3000A掩模對準器是半導體制造工業中使用的一種設備,用於在晶圓表面上創建掩模圖樣的緊密對準。它是一種基於激光的遮罩對準器，使用高度聚焦的紫外線（UV）來精確定位單個遮罩圖案到單個晶片上。這種裝置用於制造集成電路（IC）和其他電子裝置。該設備具有多種特點，使其適合一系列工藝。它能夠進行單掩碼或多掩碼對齊,並且可以設置為一種掩碼模式與另一種掩碼模式對齊,或用於立體聲對齊。步進電機和鍍鋅系統提供高精度對準，精度為1.5um，最大分辨率為0.3um。系統具有高效的對準操作，最小周期時間為1.5秒。該單元有一個集成的攝像頭，以提高精度，並使用一個自校準投影機，允許精確的蒙版配準和對準。該設備還具有全場幹涉儀（FFI）,可提供快速、準確和可重現的掃描監視器檢查。該工具還具有基於激光的模式識別資產，用於快速準確的幀識識。它還具有執行即時模式調整的能力,以確保精確的掩碼對齊。UV 3000A被設計為一個多功能的模型，所有的一切操作需要合格的制造工藝。它有一個內置的光學設備，包括復合顯微鏡、視頻監視器和操縱桿控制器。該系統用戶友好,可對某些任務執行一鍵操作。它還具有用戶友好的CAD界面,可實現快速輕松的任務定義和參數設置。總體而言,HTG UV 3000A是一種先進的掩模對齊器,設計用於復雜的半導體制造過程。它是一個高效、精確的單元,可確保掩模模式的緊密配合,並能夠高效生產並保證質量和可靠性。