二手 JAPAN SCIENCE ENGINEERING MA-4200 #9107350 待售

JAPAN SCIENCE ENGINEERING MA-4200是一種用於光刻的全自動掩模對準器，能夠為半導體和光電器件產生高精度的圖樣。該掩模對齊器提供高精度的精確度對齊,並具有較高的晶圓吞吐量,使制造過程能夠快速高效地完成。MA-4200配備了高速自動模式識別設備,可精確對齊所需的電路模式並與所需的掩碼匹配。它使用扇區分離器鏡像來實現陣列與掩碼的正確對齊並產生可重復的結果。模式識別系統還可以補償晶圓變形和其他環境影響。此外，JAPAN SCIENCE ENGINEERING MA-4200配備了高分辨率的掩模投影單元。這臺由鏡片和鏡子組成的機器在四個維度上精確、精確地將掩模投射到晶圓上，從而能夠形成先進的半導體電路模式。該工具還提供高速曝光，並具有高達每分鐘10個晶圓的快速吞吐量。MA-4200還包括一些功能,例如高級過程控制資產,它允許用戶準確地監視和控制掩模和晶片的對齊,並對過程進行即時修改。該模型可實現最佳對齊產量和改進過程一致性。該掩模對齊器還包括一個計算機控制的焦點調節器，用於在整個曝光過程中自動保持焦點。這樣可以確保陣列精確投影到晶片上。JAPAN SCIENCE ENGINEERING MA-4200使用易於學習的接口線程進行編程,允許用戶以最小的努力開始使用該設備。總體而言,MA-4200是一種高效可靠的掩碼對齊器,可提供精確的對齊和高通量。它非常適合從基本抄寫員布局到最先進的3-D光刻的應用,並為各種光刻需求提供了全面的解決方案。