二手 KARL SUSS 260MS022 #9252212 待售

KARL SUSS 260MS022是一種全自動的、最先進的掩模對齊器,用於光刻,用於將圖樣精確蝕刻到集成電路和其他微設備上。對齊器由一組組件組成，這些組件設計成跟蹤從光掩碼生成的圖樣。這種組合包括一個微步進電機、一個控制單元、一個步進數編碼器、一個玻璃標線級、一個發射噴嘴、一個掩模對準系統和一個標本卡盤。通過組合所有這些組件,Mask Aligner提供了高精度和準確性,以確保最終的蝕刻結果是一致的。「掩模對齊器」上的微型步進電機可執行精確旋轉。它無需接觸即可運行,從而創建增強的運動控制。馬達具有小巧而低矮的外形設計，使設備產生的熱負載保持在較低水平，這有助於確保蝕刻圖樣的最高分辨率。控制單元用於控制步進電機的速度,它允許操作員調整電機的速度,從而調整蝕刻模式。這使操作員能夠通過精確創建所需的蝕刻模式來真正制作自定義產品。步進數編碼器允許操作員根據模式集選擇對齊系統移動掩碼所需的步驟。這使操作員在調整對齊系統的高度時有更多的控制和準確性,因為這取決於操作員選擇正確移動舞臺所需的步數。玻璃標線臺在晶圓上的確切位置放置光掩模時允許精度，用於識別掩模上的芯片布局區域。MaskAligner的發射噴嘴將液體材料噴射到光掩模上,從而確保正確的蝕刻模式。最後，但並非最不重要的，是標本卡盤。此功能用於在蝕刻過程開始時安全、準確地將晶片固定到位。這有助於保持晶片上的圖樣與掩碼上傳輸的圖樣對齊。所有這些組件協同工作,提供了一個精密但高效的掩模對齊器,它能夠產生分辨率最高的圖樣,而不會浪費昂貴而精致的光掩模。260MS022是微電子設備生產的理想的掩模對齊器。