二手 KARL SUSS AltaSpray #9278861 待售
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KARL SUSS AltaSpray是一種精密掩模對準器,常用於製造微晶片和其他集成電路元件。它由KARL SUSS公司制造,具有獨特的噴霧技術和精確對齊的面罩。通過這種設計,它能夠在轉移過程中準確、一致地將圖樣轉移到基板上。AltaSpray專為納米光刻而設計,是在基板上生產非常小、復雜的形狀。它利用高精度投影鏡頭,能夠高分辨率成像。此外,專利級用於確保面罩和基板的精確對準。這允許將過程轉移到任何給定基材中的高精度、重復性和重復性。KARL SUSS AltaSpray還具有粒子檢測和控制系統等自動功能,以及自動面罩清洗和維護系統。這些特性旨在提高噴塗工藝的精度和效率。AltaSpray主要基於掩模投影光刻原理運行。在此過程中,數字圖樣圖像通過掩碼投影到基板上。遮罩放置在投影透鏡和基板之間,並由紫外線光源照射。這種光源和掩碼組合被稱為掩碼對齊器。當遮罩和基板對齊時,所需的圖案將投影到基板上,同時遮罩的其余部分被遮蔽。這有助於確保在傳輸過程中精確放置模式。為了保證高質量的圖案,KARL SUSS AltaSpray還采用了專利噴霧技術。這種噴霧技術包括霧化的抗蝕劑噴霧或用於保護基板在光刻過程中不受蝕刻的材料的組合。一旦抗蝕劑和基材接觸,它們就形成一個穩定的保護層,並允許將所需的圖樣蝕刻到基材中。AltaSpray是一種將光刻圖樣轉移到基板上的高效工具。它旨在確保每次都能獲得準確和可重現的結果,從而促進更快、更高效地生產集成電路和其他設備。
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