二手 KARL SUSS / MICROTEC 1169901 #293614725 待售

KARL SUSS/MICROTEC 1169901是一種半自動掩模對齊器，可用於微電子和納米技術部件制造中的光刻工藝。該設備具有強大的掩模操作和高分辨率成像功能。對準系統使用光學顯微鏡和膨脹鏡測量遮罩與基板之間的精確距離，然後以精確的X-Y-Z坐標移動遮罩，將所需的圖案對準基板。機組工作面積為122 x 122毫米，分辨率為5 µm，精度為1.5 µm。MICROTEC 1169901包含一個計算機控制的XYZ表和一個電動掩模臺。KARL SUSS 1169901面膜對準器可用於暴露廣泛的材料，包括有機或陽極氧化鋁、矽、玻璃、石英和熔融石英。該機器還能夠在80 mW/cm2和1：1000之間的強度比下運行。此外，該工具還提供數字數據記錄和用戶友好的觸摸屏界面。它還具有與外部光學器件集成的實時成像和控制集成功能,並能夠對詳細的比對處理序列進行編程以獲得最大的吞吐量。此外，即使沒有外部光學校準，自主透鏡也能確保精確對準。1169901掩模對齊器設計用於多種領域,包括微加工、晶圓級封裝和堆叠模具封裝。對於需要能夠提供高精度對齊結果的可靠掩模對齊器的研究人員、工程師和制造商來說,它是一種經濟高效的工具。