二手 KARL SUSS / MICROTEC 505 #9173271 待售

KARL SUSS/MICROTEC 505是一種高性能的Mask Aligner設備，設計用於在光刻等應用中對齊光掩模和晶片。這是一個高度精確的系統，有一個集成的計算機控制器，使對準精度低至0.7 μ米。該單元由兩個主要組成部分：晶圓對齊（WA）表和標線對齊（RA）表。這兩張桌子都配有微米式的X和Y平移級，以及兩個精細的Z級。精細的Z級允許X和Y軸的獨立調整。為了使光掩模和晶片對齊,Mask Aligner機器使用了視覺工具。此資產使用LED或激光投影儀和圖像捕獲設備來定位和測量蒙版和晶片上的參考點。此外,該模型還可用於光學蒙版檢查、3D輪廓測量或離線自動定心。設備中包含的軟件旨在支持與掩碼對準、測量和檢查有關的各種任務,並提供簡單易用的用戶界面。此外,Mask Aligner系統還提供出色的準確性和分辨率。它配備了兩軸對準微米刻度，能夠記錄0.7 μ米以下的位移。當將光掩模和晶片與微米大小的特征對齊時，這種精確度是必不可少的。最後，該單元提供了一個集成的報警機器，以警告操作員任何不對齊或不規則性。總體而言,MICROTEC 505 Mask Aligner是一款功能強大的工具,可在Mask對齊過程中提供精確、準確和可靠的性能。其集成的視覺工具、高分辨率、警報資產和用戶友好的軟件使其成為光刻應用的理想選擇。