二手 KARL SUSS / MICROTEC BA 6 #9144075 待售

KARL SUSS/MICROTEC BA 6是一款最先進的掩模對齊器，旨在滿足主流半導體加工的需求。該對齊器利用先進的光學對準和計量特性進行精密晶片傳輸，並將掩模的兩個方面精確配準到晶片。采用獨特而革命性的設計，設備人性化，提供極其精確的口罩對準。MICROTEC BA 6可實現高分辨率光刻,從而限制了對準精度的損害。這對應於低至0.4 µm的特徵大小，以及高達1 µm線寬的對準精度。對齊器包括一個獨特的機制，可以在XY方向上分別對齊每個對齊小平面，從而提高對齊器的精度。KARL SUSS BA 6集成了一個高級計量模式，它允許每個曝光參數的精確追溯。該系統能夠高精度地測量對齊面、掩模到晶圓距離以及臨界尺寸。對齊器還具有高度精確的舞臺運動控制單元，允許重復對齊和曝光的特點。此掩碼對齊器包含一個專利檢查機器,該機器檢查掩碼模式並識別對齊故障。此外，與該工具的數據庫連接使資產能夠通過使用統計數據優化對齊條件。這通過減少不良暴露的數量來增加標線的壽命。憑借其先進的特性和功能,BA 6提供了一些市場上最精確的掩碼對齊方式。其用戶友好的界面和易用性簡化了半導體制造的生產工藝。