二手 KARL SUSS / MICROTEC M6000L #9012375 待售

KARL SUSS/MICROTEC M6000L是專為先進半導體光刻工藝而設計的生產面罩對齊器。它具有高吞吐量、多功能性和出色的過程控制功能。MICROTEC M6000L利用高精度線性定位階段和自動化的「教學和重播」/對準設備,從而實現掩碼和晶片之間的精確對準。該系統使用用戶友好、直觀的圖形界面進行編程,並具有強大的算法來支持產品開發、工程和生產需求。KARL SUSS M6000L提供1 µm的定位分辨率，6µm的高對準精度。它還支持同時使用標準和先進的光刻工藝，包括深紫外線、電子束和i-line。此外,該單元還設計用於處理尺寸不超過12英寸的大型基板以及標準的4英寸和5英寸晶圓。M6000L對齊器具有一個自動夾緊機，它提供了一個安全和可重復連接基板支架和工具之間。還包括真空端口和真空足跡隔離，以便在臨界暴露階段為基板提供足夠的真空壓力。KARL SUSS/MICROTEC M6000L提供了一些先進的功能,可實現可重現和可重復的光刻工藝。這些特性包括溫度控制環境、面罩和基板的自動潤濕性控制、使用腔室耗材的過程監控以及晶圓的對準和曝光過程的遠程監控。該資產還包括一個數字圖像捕捉相機，它能夠對焦距進行監測，以確保在曝光模式下的高分辨率成像性能。MICROTEC M6000L是一種先進的、功能齊全的光刻解決方案，旨在確保先進半導體材料的最佳模式開發。該模型為用戶提供了一個全面的光刻設備，使高吞吐量和準確的過程。它可以幫助用戶在提供高質量設備的同時實現可重復性、強大的性能和成本效益。