二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 1006 #293774924 待售
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KARL SUSS/MICROTEC MA 1006是用於生產微電子器件的精密掩模對準器。它是一種用途廣泛、可靠的工具，非常適合各種應用，包括制造MEMS（微機電系統）、先進的半導體器件和微光學。MICROTEC MA 1006是a6軸掩模對準器,可與各種步進/掃描儀投影光學器件配合使用,可同時容納平面和3D掩模。它具有廣闊的視野,因此可用於對齊各種大小的掩碼。KARL SUSS的對齊頭MA-1006允許XY、YZ、XYZ和XZ平面平移，以及X、Y和Z軸的旋轉對齊。MICROTEC MA-1006還具有手動或可編程的Z焦驅動器,使用內置的Z電動機,分辨率為納米。掩碼對齊器包括許多關鍵功能,使其能夠提供高精度結果。這包括先進的控制和測量設備，其中包括用於精確對準的操縱桿，以及用於視覺對準的內置顯微鏡相機。KARL SUSS MA 1006還有一個基於視覺的自動對焦系統以提高精度，以及一個高精度的XY掃描單元以達到最大的重復性。面罩對準器配備了高性能投影鏡頭，能夠實現0.5µm的接觸成像分辨率，0.8µm的非接觸成像分辨率。此外,KARL SUSS/MICROTEC MA-1006具有內置的安全功能,如緊急停止開關和電源故障恢復機器,可保護機器和樣品免受意外事件的影響。總體而言，MA 1006是設計用於生產微電子器件的可靠、準確的工具。它提供了廣泛的精確對準和成像功能,並配備了多種功能以確保安全高效的操作。
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