二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 1006 #293792236 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 1006是一種專業級的掩模對準器，用於光刻工藝中精確對準光掩模、圖樣晶片和基板。這臺高度精確的機器設計用於嚴格控制控制光刻設計的對準和曝光的參數。MICROTEC MA 1006利用光學、機械和電氣組件的獨特組合,在各種材料上精確對齊圖案。一個遠心的Cr-x-Si-Zeiss柱提供了獲取光掩模圖樣的光功率，而計算機控制的舞臺則精確地將圖樣化的基板和掩模相對放置在正確的位置。為了確保最高精度,KARL SUSS MA-1006采用了閉環對準設備,該設備包含了反射成像、曝光中斷和舞臺微調,以確保對準精度達到或超過光刻工藝的規格。KARL SUSS/MICROTEC MA-1006旨在提供均勻和可重復的照明曝光以及各種光掩模材料,包括石英、熔融二氧化矽和玻璃鉻。它能夠容納從4英寸到8英寸不等的基材尺寸。數字計量系統（DMS）與機器集成在一起,有助於確保在曝光前將光掩模精確放置在精確的位置。該單元還提供了編程和運行多個曝光周期以提高吞吐量和準確性的能力。MICROTEC MA-1006具有一系列光源,包括高功率LED、弧形和激光器,以及獨特的UVShadow Shield,用於在暴露期間防止雜散紫外線輻射。它能夠生產0.5um至6.5um的感光膜厚度和9軸運動控制機。本機兼容多種光掩模材料，包括介電、石英上的鉻、玻璃上的鉻、二氧化矽上的鉻，以及其他先進的光掩模類型。MA 1006設計考慮了人體工程學和安全性,易於使用.它具有19英寸TFT液晶觸摸屏和全面的圖形用戶界面,易於使用。該掩模對齊器還提供了多種來源的基板和光掩模的可重復和精確對齊功能,使其成為提高光刻工藝吞吐量和降低成本的強大工具。