二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 1006 #293828312 待售

ID: 293828312
晶圓大小: 6"
優質的: 2002
Mask aligner, 6" Power supply: 220 / 240 V 2002 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 1006-BSA是一種最先進的掩模對齊器,廣泛用於半導體工業的精密光刻工藝。該設備的設計目的是將光刻膠圖樣精確對準並以高通量和高分辨率暴露在基板上,使其成為制造集成電路、MEMS設備和其他微電子元件的必要工具。MICROTEC MA 1006-BSA掩模對齊器具有堅固靈活的設計,允許處理各種基板尺寸和形狀。它配備了先進的對準能力,包括手動、半自動和全自動對準模式,確保了面罩和基板之間的精確叠加精度。這種對齊精度對於實現高分辨率模式和保持大型晶圓區域的均勻性至關重要。KARL SUSS MA 1006-BSA的關鍵成分之一是高強度、準直的UV光源,用於曝光基板上的光致抗蝕劑。該設備提供各種曝光波長,通常在紫外線光譜中,以適應不同的光刻材料和工藝要求。該光源與先進的光學系統集成在一起,確保在基板上均勻的照明和強度分布,從而產生一致和可重復的曝光結果。MA 1006-BSA中的掩模處理單元設計方便、高效地加載和對準掩模。該機支持各種蒙版尺寸和類型,包括鍍鉻蒙版、相移蒙版和光掩版,允許光刻工藝開發的靈活性。掩模對準級配有高精度執行器和對準傳感器,即使在亞微米分辨率下也能精確定位掩模相對於基板的位置。KARL SUSS/MICROTEC MA 1006-BSA除了具有先進的對準和曝光能力外,還配備了一系列用戶友好的功能和自動化功能,可簡化光刻工藝並提高整體生產率。該工具由專用軟件界面控制,允許用戶定義曝光參數,設置對齊例程,實時監控流程進度。該軟件還包括用於自動對齊和叠加校正的高級圖像處理算法,減少人為錯誤的風險並確保一致的結果。MICROTEC MA 1006-BSA具有業界領先的安全功能,可保護操作員和敏感組件免受與紫外線暴露和高能光源相關的潛在危害。該資產被封閉在一個具有互鎖安全機制的輕型密閉室中,以防止操作過程中意外暴露於紫外線。此外,設備還配備了內置監測系統和警報,以提醒用戶註意任何異常情況或故障,確保隨時都有安全的工作環境。總體而言,KARL SUSS MA 1006-BSA掩模對準器是一種用於半導體工業中高精度光刻應用的通用可靠工具。其先進的對齊能力、靈活的基板處理以及用戶友好的界面,使其成為研究實驗室、半導體織物和MEMS制造工廠尋求在公差緊密、吞吐量高的情況下實現高質量圖樣化結果的不可或缺的資產。
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