二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 1006 #9006500 待售
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ID: 9006500
晶圓大小: 6"
Mask aligner, 6"
(1) Micron resolution on 6" wafers
Split field microscope with (6) objectives
1000 W Power supply.
KARL SUSS/MICROTEC MA 1006是一種高度先進的掩模對準系統,能夠為半導體器件制造等微光刻應用生產可靠、精確的掩模。該系統使用光學透鏡和雙軸對準系統來精確對準掩模和基板。底視圖攝像機可幫助用戶向舞臺展示口罩,而頂視圖攝像機則可幫助準確放置基板。MICROTEC MA 1006可達到2.5µm的最小對準誤差,這對於幾何形狀在2µm以下的設備是必不可少的。KARL SUSS MA-1006具有多種功能,可提高可靠性並最大程度地減少生產過程中的錯誤。可編程對齊過程屏幕允許根據用戶規格對掩模和基板進行完整的圖像捕獲和移動。內置濾鏡有助於消除光學器件中的任何噪聲,5 nm分辨率的運動控制有助於確保對準的準確性。MA 1006還帶有自動對焦功能,可用於像差校正和控制掩模對焦。KARL SUSS MA 1006配備了符合人體工程學的設計,使用起來舒適。重型光學器件可提高耐用性並保持溫度穩定,即使在清洗時也能確保準確性。它還包括各種各樣的連接端口,以方便與其他設備集成。總體而言,KARL SUSS/MICROTEC MA-1006是一種功能強大且可靠的掩碼對齊器。其先進的特點、精確度和易用性使其成為高精度半導體器件制造的理想選擇,縮短了生產過程。有了適當的維護,這種口罩對齊器就有可能提供多年的可靠服務.
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