二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 1006 #9180520 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 1006是一種高度精確、全自動的掩模對齊器,旨在滿足苛刻的光刻要求。這款先進的工具非常適合高分辨率的6英寸和8英寸光刻任務。它非常適合在矽、金屬、玻璃和復合材料等基板上創建集成電路、MEMS和其他設備。此工具使用戶能夠精確對齊分辨率低至0.5微米且焦點深度高達100微米的掩模。它還提供了從GDSII和OpenAccess等行業標準格式導入數據的靈活性,從而實現了快速、輕松的設置。MICROTEC MA 1006配備了粗細對準的電動光學系統，具有極好的重復性和準確性。為了進一步的精度，KARL SUSS MA-1006提供了一個可選的多角度版本，可以將對齊角度從一個角度調整到五個不同的角度。精密自動化軟件允許用戶創建、編輯和監視參數,以確保即使是最苛刻的對齊要求也能實現最高的流程準確性。該系統包括一個集成的計量站,提供實時對齊控制,以及用於分析和記錄對齊結果及子線性性能的全部功能。而且，該工具采用了光刻膠分配和曝光後烘烤（PEB）等先進技術，使用戶能夠優化晶圓吞吐量。它還具有廣泛的輸入和輸出功能,包括完整的通信協議補充,如以太網、USB和串行端口。其用戶友好、直觀的圖形用戶界面使數據處理和設置變得輕松高效。此掩模對齊器非常堅固,可提供可靠、安全和穩定的操作,且維護最少。它有一個先進的安全系統，有一個手動和電氣安全截止按鈕，以安全的工作環境。MA-1006也是完全可升級的,提供了配置它的可選功能,例如改進的叠加精度、更大的頁面格式和高級自動化工具。