二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #293601791 待售

ID: 293601791
優質的: 2011
Mask aligner 2011 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 100E是一種掩模對齊器,旨在為半導體晶片和其他基板的應用提供光刻服務。是一種精密定位設備,精度高,可重復性強。MICROTEC MA100E非常適合於需要在半導體基板上精確排列微小零件或元件的研究目的。它能夠以± 1微米的精確對準精度來暴露具有遮罩圖樣的基板。它通過選擇曝光工具提供了多功能性,這些工具包括自動聚焦6英寸蒙版支架、6英寸步進器或6英寸掃描儀。步進器和掃描儀有各種標線,可用於不同的掩模尺寸。KARL SUSS MA 100 E的對齊表是機動化的,具有精確的網格定位系統,確保基板和掩模的精確和可重復對齊。自動快門功能可實現快速、準確的對齊。此功能通過一個便於數據輸入和程序選擇的軟觸摸鍵盤啟用。KARL SUSS MA100E設計有兩個光學系統,一個用於對準,另一個用於曝光。對準系統配備了與編碼器串聯工作的半逆視頻顯微鏡。曝光系統是帶有自動快門的高級紫外線燈。MICROTEC MA 100E附帶了一整套軟件,以方便編程、數據輸入、過程控制和對齊。它能夠控制曝光強度、面膜的接近程度以及曝光過程的時機。MA100E適用於高精度/高吞吐量應用程序。制造過程要經過一系列內部測試,以認證最優質的質量標準。此對齊器符合最新的安全標準,包括CE和SEMI S2-9001。
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