二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #293607936 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E是一種用於先進晶圓級器件制造的精密掩模對齊器。它具有1 μ m的分辨率和基於0.7 σ m的3 μ工藝控制的均勻性。該設備采用全區域叠加對齊方法設計,可實現高速對齊、原位任務切換和高級處理。發電機使用5個頭部，其工件尺寸為6「或8」，可通過快速更換機器人快速更換。它具有14位ADC和13位DAC,增益為12.5dB。該機的步驟和重復精度在0.2 μ m以內，配準精度在0.3 μ m以內。磁場尺寸可調，最小磁場尺寸為0.6毫米，最大200毫米。MICROTEC MA100 E的系統控制器提供了復雜的多產品編程、定義多個設計數據庫條目的能力以及涵蓋流程數據庫中產品的集成數據庫。可以將數據輸入數據庫以進行重復生成。該設備提供了多種成像工具,包括先進的標線縫合、高速視覺聚焦、角線縫合和方便的觸摸屏控制。它具有與光掩蔽裝置對準的功能，可在各種基板上提供快速而精確的對準。其高精度力學支持高長寬比的先進結構，步進重復自動對焦可確保精確的圖像傳輸和配準。其先進的光刻機允許對小結構進行高精度對準和曝光，而無需腳手架。KARL SUSS MA 100 E提供快速、準確的對齊，提高整體吞吐量和產量。其直觀易用的軟件確保了高質量的晶圓制造,並能夠產生非常高分辨率的圖像。它具有高精度的性能和集成的數據庫，是設備制造頂級生產的絕佳選擇。