二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #293623405 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E是一種先進、用戶友好的掩模對準器，適用於包括光刻、紫外線照射和電子束照射在內的廣泛操作。該對齊器建立在一個高效的1軸模塊化平臺上，具有重型G型夾緊設備，可實現高達20微米的快速、精確對齊。MICROTEC MA100E具有精確的晶圓調平系統，集成了350毫米級、8英寸手動曝光級和光學對準。該單元允許對不同級別的工藝層進行精確曝光，以實現多層應用的精確成像。KARL SUSS MA 100 E附帶了激光成像和標準曝光光學等多種光學曝光能力，包括強度控制機、光束均勻性和快門曝光時間。它還提供了一種自動曝光工具，能夠快速成像操作，高分辨率曝光精度為0.1微米。面罩對準器還帶有真空吸力裝置，可消除暴露室的汙染並確保密封對準。MICROTEC MA 100E還配備了直觀、功能強大的對齊軟件包，提供掃描曲線、高度映射、動態對齊模式等多功能對齊功能。這些功能能夠快速準確地對齊標線,從而提高吞吐量和生產率。該軟件還提供圖像捕獲功能,用戶可以準確分析其曝光結果。總體而言，MA100E是一種可靠且用途廣泛的掩模對準器，非常適合半導體行業中先進的曝光過程。其高效的1軸模塊化平臺和直觀的軟件包可實現準確、快速的對齊,提高產量。