二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #293668185 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E Mask Aligner是一種最先進的設備,用於精密、平版印刷的基板的微加工。這種遮罩對齊器用於將預先圖案化的遮罩精確放置在基板上，然後將其暴露在紫外線下，在基板上產生所需的圖案。MICROTEC MA100E具有在x、y和z方向上運行的精確運動,並通過計算機化界面進行控制。這樣可以在基板上精確地放置遮罩。它具有高度精確、自動化的樣品處理機制，即使使用厚實的樣品，也能確保對齊正確。它還具有一個可調節的高度快門，這使得更大的基板可以與設備一起使用，另外還有兩個聚焦機制，可以以各種放大倍數清晰成像。KARL SUSS MA 100 E Mask Aligner利用高精度的可移動級,在x、y和z軸具有極高的精度。這使其能夠以納米級精度可靠地、快速地在基板上放置口罩。舞臺上與面罩和基板接觸的區域經過磨削和放電加工,以確保基板和面罩之間保持良好的接觸,從而提供精確的對準。為了減少模式失真，MA100E配備了專利預對準系統，該系統由兩個獨立的組件組成。一個元件使用參考標記來修正舞臺位置錯誤，而另一個元件則使用專利固定光學對準單元來執行晶片與掩模之間的對準。這樣可以確保在短時間內實現準確的配置,並且操作錯誤的余地最小。MA 100E Mask Aligner是一種多用途、可靠的機器,它為基板圖案提供了卓越的分辨率.MICROTEC MA 100E具有高精度和高精度,提供業界最優質的光刻效果。