二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9013165 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E Mask Aligner是一種高度精確可靠的光學光刻工具,專為在光刻制造的半導體器件中產生亞微米特性而設計。MICROTEC MA100E具有大的磁場尺寸、高速掃描和自動對焦功能,非常適合生產集成電路。KARL SUSS MA 100 E采用了幾個關鍵組件和創新技術。它有一個Advanced Alignment Equipment （AAS），使用雙照相機和軟件來精確對齊用於打印的蒙版、晶圓和標線。該系統即使在z軸內也能實現高精度的對準,z軸是掩模和晶圓之間的垂直偏移。MA 100E使用高端大面積照明（LAI）單元。本機采用光纖和LED技術相結合，提供統一的照明模式。這種照明工具還能精確控制曝光和劑量，從而更好地控制印刷圖樣。KARL SUSS/MICROTEC MA100E使用先進的晶圓傳輸機制,提供精確的塗層並制定步驟以確保精度。這對於小功能至關重要的設備非常重要。KARL SUSS MA100E有一個集成的圖像分析資產，可以優化曝光和劑量控制。它具有產生高分辨率的過程中器件圖像的能力，有助於確保光刻的參數精確。此外，KARL SUSS/MICROTEC MA 100 E有一個針對自動標線加載和卸載的特殊插槽，以及一系列功能豐富的軟件程序，可以方便設備規格的管理，使過程更快、更高效。MICROTEC MA 100E還具有一系列安全功能,例如真空和灰塵保護,以及電源控制和電路保護,以增加安全性。MA100E是一種耐用可靠的機器，使用壽命長，維護要求低。它旨在簡化復雜和復雜的集成電路設計的生產過程，從而使集成電路的生產具有高效率和成本效益。