二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185929 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E是一種先進的用於制造微加工設備的掩模對齊器。該裝置設計用於矽片、掩模和基板的高精度對準。MA100對準器由高精度光學子系統組成，利用激光對準技術對被加工物體進行精確對準。這包括不同波長的激光器，如紫外線（UV）和可見光。它還包括標準的六英寸光掩模和亞微米對準精度。該機器能夠在單個設備中執行一系列任務,包括但不限於光刻、離子銑削和離子蝕刻步驟。由於其高精度的光學對準技術，它也非常適合於晶圓切片和微電子器件中的架構相關任務。它還可以在精密薄膜上進行圖樣染色。該MA100有三個主要組成部分：光學成像顯微鏡、舞臺和計量系統。光學成像顯微鏡提供正在加工的設備的高分辨率成像，允許用戶調整任何間隙或錯位。該級提供了面罩和基板的精確運動,從而實現了精確的模式對齊.同時，采用計量系統測量器件的精確位置和對準精度。該MA100具有許多其他特征,例如多層焦點深度,從而可以在多層上同時進行加工。它還允許在對齊過程中重新定位晶片，允許用戶優化對齊過程。此外,它還具有一個過程穩定性特征,有助於最大程度地減少處理過程中的累積錯誤。最後,它包括一個統計輸出功能,允許用戶跟蹤加工過程的進度。綜上所述，MICROTEC MA100E是用於微電子器件制造的一種先進的掩模對準裝置。它使用激光對準技術提供晶片、掩模和基板的精確對準，以及在精密膜上實現圖樣染色。它還提供了一系列附加功能,例如過程穩定性和錯誤跟蹤,以幫助確保平穩高效的加工過程。