二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185932 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E掩模對準器是一種先進的半導體加工設備，設計用於將光刻圖樣快速精確對準基板。它用於制造用於平板顯示器、集成電路和微機電系統（MEMS）等應用的復雜設備。該對準器具有高精度、高分辨率的光學系統，利用色差補償（CAC）來保證最佳圖像形成。CAC單元為小型且難以準確識別和對齊的功能提供了更好的分辨率。MICROTEC MA100E提供自動模式識別和對齊功能,以簡化對齊過程。利用激光視覺系統和精密x-y驅動機構的獨特組合，精確測量和插值圖樣邊緣位置。這樣可確保在一個μ m或更小範圍內精確對齊。該機還擁有一臺分辨率為40微米的高速Z軸驅動機，可讓圖案快速暴露在不同厚度的表面上。它具有高曝光場，可容納直徑達6英寸的基板。此外，機器還有觸摸屏控件，可以編程為自動操作或手動控制。該工具還提供集成的晶圓處理系統、全自動流化器、接近傳感器和真空卡盤，以促進一系列過程。KARL SUSS MA 100 E是相容的，具有一定的暴露時間範圍，從10秒到500秒，與多種化學和抗性材料相容。對於高級掩碼對齊功能,KARL SUSS MA 100E是理想的選擇。它獨特的特性和功能組合為以卓越的精度創建復雜設備提供了理想的解決方案。