二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185933 待售

MICROTEC MA {KARL SUSS Autoaligner）100E是專門為晶圓級光刻設計的掩模對準器。該設備利用深紫外線光源，曝光波長為365 nm，最大可載荷晶片尺寸為200 mm。該系統非常適合先進的半導體器件制造，包括光掩模和標線生產。KARL SUSS/MICROTEC MA 100E采用空氣軸承對齊X/Y級技術，提供精確對齊和高分辨率，適合高端生產環境。MICROTEC MA100E在x和y方向的分辨率為2.5 µm，精度為2-5 µm，Z軸精度為25 nm。其高度精確的對齊和聚焦保證了亞微米分辨率模式具有高度的準確性和可重復性。這種對準精度是通過實現具有遠心鏡頭設計的自動光學對準單元而實現的。KARL SUSS MA 100 E配備了全面的用戶友好界面,用戶可以快速輕松地設置和監視對齊過程。集成的Windows圖形用戶界面是直觀的,可以方便地為多個應用程序合並自動配方。它還提供了基於圖像對齊的DICOM（醫學中的數字成像和通信）配置,用於將圖樣放置在相對於晶圓的精確位置。MICROTEC MA 100 E也有1500晶圓/小時的高最大吞吐量速率，是大批量生產應用的絕佳選擇。它還提供了一個可選的高級冷卻機，旨在減少光刻過程中的熱失真風險。MICROTEC MA 100E也是環保的。它采用了環境控制和氣流冷卻工具，以降低運行過程中的噪聲水平和一般環境影響。總體而言，KARL SUSS/MICROTEC MA 100 E蒙版對齊器是精確可靠的設備制造的理想蒙版對齊器，專門用於光掩碼和標線生產。其精確的對準和對焦能力,加上先進的光學對準資產和高吞吐量,使其成為高端生產應用的絕佳選擇。