二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185936 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E是一種先進的掩模對準器，具有較大的工作區域，可用於各種光刻應用。MICROTEC MA100E具有150 x 150 mm的大範圍工作面積和可編程控制聚焦和光束功率,提供了高度的精度和精確度。該裝置配備了四個光刻投影鏡頭，其數值光圈範圍從0.5到0.75，以及一個0.2X還原鏡頭，在不同尺寸、基板和應用方面具有靈活性。該裝置專為中高體積石版畫而設計，擁有成本低，使用壽命長。KARL SUSS MA 100 E高度自動化，提供穩定可靠的工藝，能夠進行批處理和分片處理。它配有用戶友好的控制系統，並配有視覺系統和對準基準標記識別和叠加校正。它的暴露時間短至2秒，同時精確控制劑量，而不受底物尺寸的影響。該設備還提供自動化的過程管理,具有嚴格的過程控制參數,允許跨批晶圓進行統一的處理和一致的結果。該設備在個人計算機和Linux服務器上運行,用戶可以輕松自定義其系統配置以包括所需的性能參數。該設備還與Cassette to Cassette Modules兼容，允許在不破壞真空環境的情況下快速輕松地裝卸。MICROTEC MA 100E是一種堅固可靠的設備,非常適合生產2D/3D微結構和表面微加工。它易於操作和維護,可提供長期工作效率和最小停機時間。對於以合理成本尋找大工作區的企業來說，也是一個經濟的解決方案。