二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185937 待售

ID: 9185937
Mask aligner Damaged parts: Mercury lamp controller Sensor WEC Currently installed.
KARL SUSS/MICROTEC MA 100E是一種掩模對齊器,用於將光掩模精確覆蓋到半導體基板上。該機裝有石英鹵素照明器、計算機控制的移動臺和自動對準控制器。石英鹵素照明器具有較高的瓦數,在對準過程中允許均勻而強烈的強度輪廓。照明器還具有可調的強度水平,容易調節光線產生所需的效果。照明器的定位也可以遠程控制,允許光線的精確放置和角度。移動級有一個電動驅動單元,使其能夠在X、Y和Z軸上以高達50 mm/s的速率移動。這樣就可以同時精確定位光掩模和基板。這種定位可以用高達+/-0.1微米的公差來實現兩個組件的對齊。自動對準控制器是機器的大腦.這使得光掩模和基板能夠快速而精確地對準。控制器使用邊緣檢測、自動對焦對準和各種其他功能的組合,以確保對準過程的精度。它還連接到計算機,以便可以設計和控制復雜的對齊過程。MICROTEC MA100E以其出色的性能和能夠精確對齊甚至最復雜的光掩模結構而聞名。它具有亞微米覆蓋精度,壽命長得令人印象深刻。此外,該機器易於使用和維護,使其成為半導體行業的熱門選擇。
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