二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9185938 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E是一種紫外線（UV）光刻掩模對準器，用於利用微和納米加工技術制造集成電路、功能機械結構和其他3D結構。該設備提供了可用的最高精度的紫外線光刻，工作面積為5英寸。x 8英寸。適用於廣泛的工業和學術應用。MICROTEC MA100E有兩個540 nm CW激光光源（6W和4W）。光功率計可確保準確的功率電平設置。組件安裝在隔熱箱中,以提高穩定性和耐用性。該系統還具有一個移動級，用於相對於毫米分辨率遮罩板精確定位基板。三軸電動級的分辨率為0.1 um，最高速度為2000 um/sec。該單元具有自動蒙版配準、低恒定特征像差、低熱漂移、高清圖像、增強重叠校正等幾大優勢。KARL SUSS MA 100 E還配備了帶觸摸面板的HMI控制接口，提供長達8個步驟的編程，以實現精確的重復性。運算符可以調整諸如曝光時間、重復計數和對齊等參數，包括蒙版對齊、XY對齊和重復對齊。KARL SUSS MA100E使用UV光掩模產生高達256束光束，圓形光束直徑為6um。圖像在基板上的最大投影在X和Y軸上± 5 mm,最大分辨率為0.5um。該機器還能夠進行等離子體蝕刻,以進行精確的圖樣繪制。該工具可以產生各種各樣的結構，從納米級特征到微米級特征。最後，KARL SUSS/MICROTEC MA100E還配備了保護性鋁制面罩，可以阻擋任何可能對敏感材料造成損害的雜散紫外線。該資產還具有包括鑰匙開關、運動檢測和紫外線快門在內的安全功能。綜上所述，MICROTEC MA 100E是一款先進的UV光刻蒙版對齊器，具有自動蒙版配準、低恒定特征像差、低熱漂移、高清圖像、增強重叠校正等先進功能。該模型是在各種基板上創建精確圖案的絕佳選擇。