二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9197137 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E是一種全自動掩模對齊器，用於高分辨率的光刻微加工工藝。它非常適合制造集成電路、傳感器、執行器和其他微電子元件。MICROTEC MA100E設備包括一個基於PC的集成控制單元和一個光學/機械對準系統,具有自動基板和標線加載功能。標線安裝在5軸級上，使用數字微米進行精確對準。標線階段具有手動模式、完全旋轉和凹陷選項。基板保持在真空卡盤上,並使用手動或自動基板處理單元加載。真空卡盤由電機驅動,可最大程度地減少基板的錯位.該機還配備了具有集成照明和光學顯微鏡功能的opitcal觀看和圖像感測工具。這種光學裝置可以達到1 µm的分辨率。KARL SUSS MA 100 E還具有6或12英寸真空致動基板級，具有5 µm XY移動能力。遮罩對準器能夠以99.7%的透光效率將光圖樣從標線投射到光刻塗層基板上。高分辨率投影光學器件可確保在基板上形成漫射光模式,從而形成具有極高橫向分辨率、精確定位和高對比度的復雜結構。MICROTEC MA 100 E可以在廣泛的大氣分數和真空水平下操作，允許高保形塗層和增強層均勻性。掩模對準器的對準精度範圍很廣，從380 nm到75 µm不等，這取決於使用的材料。MA 100 E憑借其直觀的用戶界面和精確的設計，易於使用和維護。它可以很容易地集成到各種生產過程中，使其成為微光刻的理想工具。