二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9278299 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E Mask Aligner是一個全合一的光刻系統，設計用於各種微電子應用，如微制造、納米制造和微機電系統（MEMS）。該單元是一個自動化系統，能夠在微米和納米範圍內繪制具有空間分辨率的表面特征圖樣。它具有一個易於使用的圖形用戶界面（GUI）和一個大的11.6英寸觸摸屏,允許控制微定位器和設備參數。控制器配備了四個自由度，允許高精度對準和光刻。遮罩支架的光學系統具有自動對焦功能,可確保與遮罩對準的精度在2 μ m以內。光源是LED陣列,最大照度為31000 mW/m2,可調節均勻度為80%或更高。光源為各種應用提供多種波長，包括綠色、藍色或紫外線範圍。此外，該工具具有可變強度控制，以進一步控制暴露。光刻階段可以容納直徑最大150毫米的晶片或基板，2英寸和4英寸的適配器用於較小的基板。它配備了真空夾緊機構，以確保在對準和曝光時的最高精度。裸露的材料托盤可用於幹性和水溶性抗蝕劑。可以借助通過的實時計時器監視過程的經過時間。最後,該設備還具有1.5 μ m的最高運行重復性和0.5 μ m的運行連接精度。MICROTEC MA100E Mask Aligner的重型結構、靈活性和準確性使其成為即使是最先進的微納米制造應用的理想工具。