二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9278360 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E是一種掩模對齊器，旨在促進高精度光刻掩模圖樣與半導體晶片的接觸對齊。設備極為精確，能夠以三微米或以下的精度進行註冊。此外,蒙版對齊器能夠在40 mm x 40 mm的區域對齊,而且精確度足以使標記邊緣的對齊精度在3%以內。MICROTEC MA100E使用的光學系統包括電動級和通過XY定位器的頭部。KARL SUSS MA 100 E的頭部/XY級利用了強大的步進電機和玻璃編碼器，允許在XY平面中分辨率達到5納米。這樣可以使目標基板與有圖案的掩模精確對齊。MA 100 E還能夠自動進行模式掃描,並具有可從4倍放大到16倍的Power Zoom光學單元。機器可以在單個模具上以高分辨率讀取多達16個級別,以便準確對齊模式的詳細信息。除了精確的對準能力外，MICROTEC MA 100E還提供了許多其他功能，旨在提高半導體制造的效率。掩模對準器具有一個電容定時電路，允許精確定時曝光。KARL SUSS MA 100E還提供了一個自動快門，該快門可以被激活，以防止晶圓在發生故障時暴露在外。面罩對準器還配備了獨立加熱器和集成模式識別軟件。總體而言，KARL SUSS MA100E掩模對準器是一種強大而精確的工具，用於將光刻掩模與半導體基板對準。該工具的步進電機和玻璃編碼器允許在XY平面中精確對準5納米的分辨率。此外，MICROTEC MA 100 E還包括電容正時電路、自動快門和獨立加熱器等幾個附加功能，使其成為半導體生產行業功能強大、用途廣泛的工具。