二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9358526 待售
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KARL SUSS/MICROTEC MA 100E是一種用於薄膜器件晶片步進對準的自動掩模對齊器。它配備了18英寸可調底座和先進的對準設備,用於面罩和鋁基板的精確對準。MICROTEC MA100E的設計目的是通過提供快速、自動化的掩模和基板對準,最大精度為⅓微米,從而降低薄膜處理成本。KARL SUSS MA 100 E使用5英寸的口罩托盤,一次最多儲存20個口罩。自動掩碼管理系統簡化了從托盤加載和檢索掩碼的過程。口罩托盤還配備了可伸縮快門,以確保正確放置口罩。蒙版和基板的對齊是在整個過程中使用分段鎖執行的。這種對齊技術保證了任何數量的口罩和基板的高度準確性和可重復性。除了口罩對準系統外,KARL SUSS MA 100E還配備了氮氣凈化裝置,用於降低口罩托盤中的水分含量。這樣可以確保一致的對齊質量,因為水分會導致對齊錯誤。除塵機還集成了控制濕度的傳感器,以保持最佳濕度水平。除了口罩托盤外,MICROTEC MA 100E還配備了一個臺式平臺,在對準過程中,在口罩和基板的定位方面具有更大的靈活性。該表可以快速方便地重新定位基板和口罩,從而節省時間並提高準確性。MA100E是薄膜器件晶片步進對準的絕佳選擇。其先進的對準工具、氮氣凈化資產和自動掩模放置確保了高精度和可重復性。可調的底座、臺式平臺和可伸縮快門可確保靈活高效的過程,通過消除代價高昂的錯誤降低成本。
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