二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9389780 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E掩模對準器是一種高精度、經濟高效的設備,專為光刻、半導體光電子和光學等多種用途而設計。它可以自動完成以下任務：在使用復雜的軟件和硬件功能的同時,將掩碼對齊並暴露在基板上。MICROTEC MA100E配有真空卡盤，可將基板牢固固定到位，並配有雙軸高精度級。它的最大分辨率為10 µm,可重復性為5 µm。KARL SUSS MA 100 E采用強烈的紫外線鹵素燈打造，提供高達3 µm的特性尺寸。內置的基於攝像頭的自動對齊系統允許用戶使用基於圖像的對齊標記，而內置的集成傳感器則使用戶能夠執行高精度、高速的對齊校正。該設備還提供自動聚焦檢測,確保可重復的結果,並為高精度光刻應用程序提供未闡明的特征分辨率和準確性。集成的XY級允許遮罩和基板尺寸達到100 mm。該級采用堅固、低振動的工業級直線電動機驅動系統，具有0.5 μ和25米μ開環可重復性。可以分別為精確對準和優化級速度設置慢速和快速電動機速度。快速電機轉速可設置為200毫米/秒,而慢速電機轉速可設置為1mm/s。KARL SUSS MA 100E還具有光學、流體和電饋通特性，允許光阻劑以最小汙染轉移，閉環串擾補償消除全局基板運動誤差。MA 100E配備了符合人體工程學的操作控制臺，允許用戶通過簡單的鍵盤界面來控制設備。屏幕上的顯示屏確保了易用性,而內置診斷工具則允許快速排除故障和解決問題。KARL SUSS/MICROTEC MA100E具有多種高級功能,可自動完成各種基板的對準、曝光和接觸過程,包括矽片、石英、氧化鋰、聚酰亞胺和陶瓷。自動清理功能可有效清除殘留的清潔溶液,從而減少關鍵區域的接觸時間,加快掩模/基板交換時間。最後，該設備具有全面的安全功能，包括鹵素安全快門和CE認證的安全等級1掃描。MA 100 E是一款先進可靠的掩模對齊器，旨在最大限度地減少編程時間，最大限度地減少由於不完善的對齊而造成的浪費，並為廣泛的光刻和光電應用最大限度地提高精度和吞吐量。