二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 12 #293808783 待售
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KARL SUSS/MICROTEC MA 12是一種用於光刻的掩模對齊器，用於轉移高分辨率的圖樣結構。它有一個自動化晶片處理設備，能夠支持25毫米到200毫米晶片與高真空卡盤精確對準。它是一種可編程曝光工具，使用直觀的圖形用戶界面很容易操作。它具有波長可調性範圍，可以捕獲從近紅外（NIR）到紫外線（UV）光源的廣泛波長範圍。MICROTEC MA 12具有與X、Y和Theta軸的精確定位控制，以確保圖樣在晶圓上精確對齊。它具有先進的投影光學系統，其數值孔徑為0.28，並具有優化的成像單元，以確保最佳圖像質量。此外,它還可以自動選擇掃描場的最佳曝光,以及可調節焦點深度的集成聚焦調諧機。KARL SUSS MA 12的主要先進特點是其劑量依賴性部分暴露控制。此功能可實現模式的亞微米分辨率,用於多層的高精度處理。它還為各種應用程序提供可編程層厚度設置和基於配方的自主使用。這一特點確保了光刻和納米壓印等應用能夠可靠地定義精細和高精度的結構。其他功能包括使用其自動穿梭工具的可重復掩模處理、伸縮快門和可編程膠片支架，以及集成真空資產。它還有兩個加熱系統，一個用於基礎溫度，另一個用於面膜和晶片的溫度調節。此外，軟件中的掃描儀對齊選項可以用來微調對齊精度。MA 12是一種增強的掩模對齊器，可用於各種類型的光刻工藝。它具有卓越的性能、高精度和重復性，非常適合復雜復雜的精密工藝。直觀的圖形用戶界面和若幹自動化功能使其易於使用和維護。KARL SUSS/MICROTEC MA 12的靈活性和準確性使其成為工業、研究和學術應用的寶貴工具。
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