二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 14 #9281941 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 14是半導體工業中使用的全功能半自動掩模對齊器。MICROTEC MA 14設計用於將具有精確像素級配準的光掩模與光刻塗層晶片對齊。它具有一個連續可調節的x-y級，方便在掩模和晶片之間精確的相對運動。KARL SUSS MA 14利用雙光學系統創建晶圓和掩模的復合遠心圖像。此圖像用作評估掩模和晶片之間對齊方式的參考。采用集成激光十字準線模塊建立基準參考點。這樣可以在掩模和晶片之間精確地重復對齊。MA 14還利用二維相機系統進行自動例行對準。自動對齊是通過引入在輸出圖像中檢測到的階段模式來執行的。通過計算圖樣的變形，自動對焦可以精確調整掩模和晶圓之間的距離。此外,可以使用軟觸摸功能執行對齊,該功能可調整對齊標記的相對位置,而不會幹擾其他對齊元素。KARL SUSS/MICROTEC MA 14還包括一個用戶友好的帶有數字顯示屏的鍵盤。顯示屏顯示每個對齊所需參數的最新摘要。用戶友好的鍵盤還允許用戶在對齊器中輕松輸入命令以處理對齊過程。MICROTEC MA 14是一款用途廣泛的對齊器，不僅提供高精度的標記和標簽，還包括各種測量模式，方便晶圓特征測量和表征。這些包括叠加分析、距離測量以及網格搜索特征位置和特征。KARL SUSS MA 14是晶圓制造應用的完美的工業級對齊器。其多種多樣的特性和功能使光掩模能夠精確對準光刻塗層晶片。MA 14提供可靠、可重復和準確的比對,以確保高質量的晶圓生產。