二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC #9105740 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA-150 CC Mask Aligner是一種最先進的自動化光刻工具。它非常適合處理具有復雜幾何形狀的小型設備。具體來說,MICROTEC MA150CC適用於尺寸範圍為1mm-150 mm的設備。自動工具校準、可重復對準精度和高清成像等功能使其成為在直徑從0.75英寸到6英寸的各種晶片上生產細線光刻劑的理想選擇。KARL SUSS MA 150CC由包括光源、晶圓室、步進電機以及精密光學和機械元件在內的集成平臺組成。光源產生暴露光刻膠所必需的紫外線輻射。它包括用於高功率輸出的集成汞弧燈以及用於目視檢查的白熾燈。晶圓室是一個精密的石英室，具有100毫米的閘門和朗繆爾-布洛傑特薄膜沈積，允許晶圓的均勻塗層。此外，該室設有通風口，用於控制大氣層。步進電機的設計是為了提供精確的微觀定位精度，從而最大限度地減少臨界尺寸不對準。步進器的旋轉點精度為1毫米，這對於光刻膠的曝光至關重要。此外，這一先進設備還包括用於掩模和基板精確對準的集成對準軟件。該系統還包括一個對準監測單元，以便在曝光期間保持精度。此外，MICROTEC MA-150CC提供分辨率小於0.25微米的高清成像。這在最關鍵的設備級別上提供了卓越的成像和模式定義。KARL SUSS MA-150CC還具有先進的機器人自動化能力，使其能夠篩選、對準晶片，並將晶片送入和送出曝光室。此外,該機器允許快速轉換,提供一致的質量和性能級別。總體而言,MICROTEC MA-150 CC Mask Aligner是一款先進的光刻工具,可提供卓越的性能。它非常適合在各種基板上生產高清和細線光刻膠，其集成自動化機器提供一致的質量和性能水平。該機可處理直徑從0.75英寸到6英寸的晶片，提供極好的精度和精度，分辨率低至0.25微米。所有這些特性使KARL SUSS MA150CC生產復雜幾何形狀復雜的設備的理想選擇。