二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC #9229272 待售
看起來這件物品已經賣了。檢查下面的類似產品或與我們聯系,我們經驗豐富的團隊將為您找到它。
單擊可縮放
已售出
ID: 9229272
Mask aligner
Power supply: CIC 1200
PC Type: DSM-P233 MMX
Relay interlock box
TSA camera: XC-50
TSA objectives: 5 x / 0.15, 10 x / 0.30, 20 x / 0.40
BSK microscope: 520R Rechts / Right
BSA-Camera 264537 Rechts / Right
Cognex 5000
Power meter
Exposure optics: UV 400
Prealigner
Prealigner sensor head: SI / GAAS / INP
Mask holder
Chuck
Main microcontroller:
Input card: 260PC105-05
Input card: 260PC113-01
D/A Cov DVM²: 260PC102-05
Parallel input / Output exp BSA: 260PC103-03
Valve driver: 260PCPC103-01
Funnel prealigner: 260PC129-02
Manipulators: 260PC116-01
D/A Conv DVM BSA: 260PC102-05
Motor driver DVM²: 260PC109-02
Elevator right: 260PC119-01
Elevator left: 260PC119-01
Microscope x-motor: 260PC119-03
Mask x-motor: 260PC156-04
Microscope y-motor: 260PC119-03
Mask y-motor: 260PC156-04
Microscope motor: 260PC119-03
Mask motor: 260PC156-04
Z-Axis: 260PC119-03
Wafer transfer: 260PC126-03
4 Channels A/D card MOM: 260PC176-03
CPU MOM: 260PC105-16
Stage driver MOM: 260PC168-06
Valve driver 3CB: 260PC104-01
Power supply standard: 260PC124-02
Power: 230 V
Lamp: 350 Watt bulb
2002 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150 CC是一種高精度掩模對準器，用於制造半導體芯片、傳感器和納米機電系統（NEMS）等納米結構或微加工設備。對齊器能夠將不同的面罩彼此對齊，精度高達一納米。它利用一種近場光學設備與高精度級相結合，實現極精確的對準。該系統還允許快速連續對齊多個掩碼。MICROTEC MA150CC提供了多種功能,以確保每個新設備都能準確定位並準備進行平版印刷處理。利用設備的可自定義對齊工作區、軸上校正算法和自動晶圓掃描以提高設備精度,此掩碼對齊器提供了無與倫比的精度和可重復性級別。此外，機器可以檢測到任何意外的晶圓未對齊，使用戶無需停止整個過程就可以進行校正。KARL SUSS MA 150CC工具配備了可變孔徑控制，以確保光刻過程中只暴露所需的區域。其自動光學定心功能最大程度地減少了手動調整的需要,而其精確的舞臺運動控制則確保了舞臺運動的準確性和可重復性。此外，其先進的溫控室確保了光刻過程中的溫度穩定性。KARL SUSS/MICROTEC MA150CC除了具有出色的對齊性能外,也是大批量生產過程的寶貴解決方案。這一資產能夠同時處理多個晶片，讓用戶最大限度地提高吞吐量，最大限度地減少空間。它還支持各種先進的光刻工藝，包括深紫外線、IC Scope和Step&Scan。總體而言,KARL SUSS MA-150 CC是一款功能強大的高精度掩模對齊器,為用戶制造納米結構和微制造設備提供了無與倫比的準確性和可重復性。此模型具有軸上校正、自動晶片掃描和可變孔徑控制等功能,為大批量生產過程提供了最佳解決方案。
還沒有評論