二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC #9249160 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA-150 CC Mask Aligner是一種高效、精確、堅固的光刻系統,非常適合在晶圓表面上產生亞微米的特征和結構。利用帶電荷的電子束，定向器能夠精確定位，定心，並以高精度和分辨率暴露半導體層。該對齊器具有在處理晶片時牢固地固定和對齊晶片的加載機制，以及允許微調調整以確保最佳平版印刷工藝的過程控制模塊。MICROTEC MA150CC對準器由於其出色的能量屏蔽，支持一系列常見和專門的過程，包括接觸光刻和深層紫外線投射。此外,KARL SUSS MA 150CC允許在X、Y和Z方向手動步進行程距離高達25 mm,步進分辨率為1 µm,從而實現大規模生產。對齊器還包括一個對準和定位攝像頭，該攝像頭捕獲晶圓圖樣的圖像，並為每個傳入晶圓的校正和對準提供反饋。此外，MICROTEC專有的智能工藝配方軟件使20多個處理參數能夠可靠有效地對齊。對於高精度性能，MA150CC對準器配備了固態快門、主動熱控制、高電容存儲。快門可確保花紋清晰對齊,同時不需要細膩的薄膜樹脂。此外，對準器還具有主動熱控制系統，便於在整個生產過程中保持一致的溫度；這樣可以確保長期的模式對齊可靠性和優異的效果。最後，MICROTEC MA-150 CC的高電容存儲保持重要參數和控制設置，即使主電源暫停。簡而言之，MICROTEC MA-150CC Mask Aligner是一種生產低失真、高精度晶圓圖樣和結構的頂級系統。