二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC #9299824 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA-150 CC是一種鏡片接觸式遮罩對準器，用於廣泛的光刻應用。它提供高吞吐量和準確性,以及詳細的過程控制。MICROTEC MA150CC的設計允許微型和納米設備的制造，具有精確的對準和曝光靈活性。這款蒙版對準器的工作面積為150 mm x 150 mm，非常適合原型制作、大批量生產和研發。具有高強度光源、最大縱梁精度和對準糾錯，可容納多種晶圓尺寸和基板。KARL SUSS MA 150CC具有主動對準系統,可確保對準精度和1.5微米的重復性。其自動對準功能包括單點和雙點測量對準，可用於對3 µm至61 µm的特征進行成像，數值孔徑為0.45。此蒙版對齊器還配備了多種工藝控制功能,可確保卓越的打印精度。這些包括開環PID系統、實時監控和反饋，以及精確的超速控制。為保證高質量的光刻，KARL SUSS MA 150 CC具有集成的晶圓處理系統和基於配方的自動曝光優化。最後，面罩對齊器的設計簡化了晶片對齊和曝光的過程。它配備了直觀的用戶界面和功能強大的集成數據管理和分析工具。此外,它還具有高速選項,允許用戶增加吞吐量並減少總周轉時間。MICROTEC MA 150 CC掩模對準器是一種高效且經濟實惠的解決方案,適用於各種光刻應用,提供卓越的精度和過程控制。它非常適合那些需要頻繁、準確對齊、精確曝光和高吞吐量能力的用戶。