二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC #9394343 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA-150 CC Mask Aligner是一種通用可靠的工具,用於制造微機電部件。它能夠實現亞微米精度的臨界對準，適合制造具有微觀特征的元件。MICROTEC MA150CC是一種全自動和用戶友好的設備,可提供卓越和可重復的性能,為高產精細幾何形狀的生產提供極高的成本效率。KARL SUSS MA 150CC使用一個特殊的步進電機平移階段，在兩個正交軸中精確移動瓷磚掩模。該機構由高速定位系統驅動，該系統基於精確脈沖編碼器進行非常精確的可重復定位控制。該級與控制單元進一步集成，以確保口罩能夠快速裝卸。位於機器前部的一推自動機便於掩模裝卸。可以根據蒙版尺寸調整裝載力，這樣即使是非常小巧的對準蒙版也可以精確放置。掩模對齊器帶有內置的自動對焦機，可以在執行對齊時達到最高精度。光學工具使用了較長的景深物鏡和反向傾斜級，以獲得最佳焦點，無論面罩的對準標記上存在的高度變化。即使蒙版的零件需要epi-lightnation,此功能也能提供良好的聚焦深度。此外,還可以手動覆蓋或完全禁用自動對焦功能,以提供最大的靈活性。模擬光步進快門技術用於將掩模上的對齊標記暴露於光電二極管，使資產能夠檢測和測量標準6um X 6um網格上的對齊標記。這也可以讓口罩快速曝光，因為不需要快門的機械運動。對焦距離的掩模是可調的，允許用戶根據需要實現不同的曝光和對準精度。MA 150 CC還有一個微定位器，用於將掩模中發現的旋轉對準標記或滑塊減少到25nm。這種微型定位器對蒙版的曝光量提供了很大程度的控制,可用於微調蒙版的定位以實現更精確的對齊。MA-150CC面罩對齊器是一種真正通用的工具，它為調整微規模組件提供了很高的準確性和控制。它方便用戶使用,為高產精細幾何的生產提供了卓越的成本效率。