二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 150 M #9149625 待售
網址複製成功!
ID: 9149625
晶圓大小: 6"
Mask aligner, 6"
Top side only
No wafer cassettes
One wafer at a time
PC with solid state drive
15" Touchscreen
1000 Watt Lamp house
UV400 Diffraction reducing optics
365nm / 405nm internal sensor
SUSS CIC1000 Constant intensity power supply
SUSS DVM 6 Dual video microscope
5x, 10X and 25X Objectives with turret
SUSS AL300 Large gap alignment system
Proximity, soft, hard and vacuum contact capable
Pneumatic tubing throughout the machine
Standard alignment chuck
Standard maskholder.
KARL SUSS/MICROTEC MA 150 M是MICROTEC開發的用於制造微芯片的精密掩模對準器。它能夠產生各種特性和對齊方式,包括微電壓、高電阻率總線(<200 nm)和翻轉芯片裝配。MICROTEC MA 150M設計用於處理具有高精度精度的特殊工藝要求。設計包括一個電動機驅動的工作領域,它允許精細的對準和可重復的定位,以及一個數字讀出顯示確切的位置。該單元還配備了現代化的光學投影設備和精密的探測系統,以確保準確性。這樣,在對微芯片進行陣列化之前,可以精確對準掩碼的背面和/或正面。該系統可容納高達6英寸或150毫米的自動口罩,公差精度± 2 μ米KARL SUSS MA-150M的設計使制造時間更短、更容易。其他工藝選項包括叠加和子像素放大比對,以及可編程的線性Z軸,以適應不同的材料厚度。內置激光幹涉儀有助於保持最高的對準精度和可重復性。MA-150M的高級設計利用基於PC的圖形控制中心,實現了快速輕松的單元設置。集成攝像頭系統支持精確的手動對準,並提供計量選項和自動化流程的視覺輔助對準。該機器還具有更好的魯棒性,具有防止灰塵和水濺的IP67-compliant保護以及ESD保護。MA 150 M是工業和學術研究應用的理想選擇。它是創建從簡單的數字設計到更復雜的設計(如3 D堆疊設備)的所有內容的絕佳選擇。該單元能夠處理多種材料,包括銅、金屬、共晶、聚酰亞胺和矽。它旨在盡可能精確地處理生產要求。
還沒有評論