二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 150 M #9190410 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 150 M是一種多用途的掩模對齊器，用於各種模式生成、光刻工藝和精確對齊任務。它能夠進行高分辨率接觸曝光、接近曝光、層對準和3-D對準。掩模對準器包括具有集成精密定位級的先進控制設備、8 「x 8」石英曝光源、用於XY對準的高精度CCD傳感器和XY對準計算機。掩模對準器內的精密定位系統可提供出色的重復性、準確性和穩定性。它使用壓電執行器在X、Y和Z方向上進行精確校正。此單元允許在曝光過程中對工件進行精確對齊和正確定位。曝光源利用先進的準直器光學器件，在工作領域產生均勻的光束。這樣可以確保圖樣在光刻過程中被精確曝光。CCD傳感器提供高精度的檢測和對準能力，能夠對準亞微米級。面罩對齊器還設有一臺計算機控制機，內建個人電腦，用於控制設備操作和執行數據處理。計算機具有易於使用的圖形用戶界面，便於編程和結果顯示。該工具還包括一個數字鍵盤和一個視頻監視器，用於可視化和與資產交互。MICROTEC MA 150M兼容包括MICROTEC MA 150 Mask Aligner Table在內的多種蒙版和曝光工具，以及I-Line、248 nm、365 nm曝光工具等多種配件和曝光工具。KARL SUSS MA-150M與許多基材、材料和圖樣兼容，還提供多種對齊和曝光功能。總體而言,KARL SUSS MA-150 M掩碼對齊器是一種高效、高精度的設備,可提供出色的陣列生成、光刻和對齊功能。它旨在產生定義的特征和可重復的準確性和穩定性,從而產生卓越的曝光和對齊結果。