二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #293603359 待售
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ID: 293603359
晶圓大小: 5"
Mask aligner, 5"
Alignment type: Top side alignment and BSA
Cassette to cassette
USH-350 DS Lamp.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150是MICROTEC開發的現代紫外線(UV)掩模對齊器。它是半導體光刻的高性能工具,並被設計用於廣泛的光刻應用。MICROTEC MA150是為精確對準而設計的,在整個運動範圍內都非常精確。KARL SUSS MA 150使用各種不同的組件構建。其設計的核心是獲得專利的微束技術,它與高精度光學系統集成在一起。這種組合允許MICROTEC MA 150實現亞微米級對準精度。這種精度因其獨特的「Mark II」光束步進器而進一步增強,該步進器除了運動之外還能精細控制光束大小和形狀。MA 150也是為了可靠性而設計的。機器的所有部件都是為長期使用而制造的,每個MA150在裝運前都經過工廠測試。這確保所有KARL SUSS MA-150單位從一開始就充分發揮其潛力。MICROTEC MA-150帶有用戶友好的GUI,可控制系統的各個方面。它包括多種與模式相關的功能,包括以多種格式傳輸模式的能力。這使得跨多個掩碼和字段的縮放和復制模式非常容易。此外,MA-150還能夠跟蹤晶圓標記運動,並以高精度測量特征之間的距離。總體而言,KARL SUSS MA150是用於半導體光刻和光刻應用的強大工具。高精度和可靠的設計使其成為精密微電子及其他相關元件專業人員的理想選擇。此外,其用戶友好的GUI和廣泛的模式相關功能使其成為各種任務的理想選擇。
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